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MS1000
MS1000 是 Safran 的电容式 MEMS 加速度计系列，提供模拟输出，不同成员覆盖 ±2 g 至 ±100 g 量程。
核心参数
| 参数 | 数值、功能与适用条件 |
|---|---|
| 器件类型 | 单轴模拟加速度计系列 |
| 系列量程 | ±2 g 至 ±100 g，参数依成员 |
| ±2 g 档长期零偏重复性 | 0.24 mg |
| ±2 g 档运行偏置稳定性 | 3 µg |
| ±2 g 档噪声 | 7 µg/√Hz |
| 测量轴／输出 | 单轴，差分模拟±2.7V；内置自检与温度传感器 |
| 供电 | MS1002表：3.2～3.4V，3.3V典型；20°C条件除另说明 |
| 电流 | MS1002表：2.3mA典型、4mA最大，按数据手册条件 |
| 频率响应 | MS1002、MS1005的−3dB频率200Hz；不扩展到所有成员 |
| 封装／尺寸 | LCC20陶瓷密封，9×9×3.5mm |
| 工作温度 | −40～125°C；具体温度性能按各成员参数表 |
参数依据：原厂产品页或对应资料。
产品功能与测量链
MS1000为模拟输出电容式MEMS加速度计系列，用来测量比力和振动。系列量程从±2g延伸到±100g，不同量程对应不同成员，不能把±2g的噪声参数套给全系列。
接入与配置
±2g档的长期零偏重复性0.24mg、运行偏置稳定性3µg与噪声密度7µg/√Hz是不同时间尺度和统计定义。若计算某带宽内的随机噪声，应先明确频率响应及等效噪声带宽。
使用与验证
模拟接入需将供电、输出摆幅、ADC参考和抗混叠滤波一起核对。验收分静态重力翻转、温度零偏、比例因子和振动频响；单次静止平均不能证明长期漂移和冲击恢复均合格。